P型多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的研究

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P型多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的研究
論文目錄
 
摘要第1-5頁
abstract第5-6頁
第一章 緒論第14-28頁
    1.1 太陽電池的研究背景及意義第14-15頁
    1.2 晶硅太陽電池簡介第15-22頁
        1.2.1 太陽電池發展歷史第15-16頁
        1.2.2 晶硅太陽電池工作原理介紹第16-17頁
        1.2.3 常規多晶硅太陽電池第17-18頁
        1.2.4 多晶硅PERC高效太陽電池第18-19頁
        1.2.5 多晶硅PERC高效太陽電池制備流程第19-22頁
    1.3 晶硅太陽電池鈍化研究現狀第22-23頁
    1.4 晶硅太陽電池光致衰減研究現狀第23-25頁
    1.5 晶硅太陽電池光致衰減抑制方法研究進展第25-26頁
    1.6 本課題研究內容及目標第26-28頁
        1.6.1 本課題研究內容第26-27頁
        1.6.2 本課題研究目標第27-28頁
第二章 實驗設備及性能表征技術第28-39頁
    2.1 主要實驗設備第28-31頁
        2.1.1 太陽能電池生產線第28頁
        2.1.2 MAiA背鈍化設備第28-29頁
        2.1.3 鏈式燒結爐第29-30頁
        2.1.4 光輻照退火爐第30-31頁
        2.1.5 電注入退火設備第31頁
        2.1.6 預衰減實驗箱第31頁
    2.2 主要實驗原料第31-32頁
    2.3 性能表征第32-39頁
        2.3.1 四探針方阻測試儀第32-34頁
        2.3.2 激光橢偏儀第34頁
        2.3.3 量子效率測試儀第34-35頁
        2.3.4 EL缺陷檢測儀第35-36頁
        2.3.5 少子壽命測試儀第36-37頁
        2.3.6 電池性能測試儀第37-38頁
        2.3.7 爐溫曲線測試儀第38-39頁
第三章 Al_2O_3/SiN_x疊層鈍化膜制備工藝對多晶硅PERC太陽電池性能影響研究第39-49頁
    3.1 引言第39頁
    3.2 樣品制備方法第39-40頁
    3.3 Al_2O_3 膜厚對多晶硅PERC太陽電池性能的影響第40-42頁
        3.3.1 TMA流量與Al_2O_3 膜厚的關系第40頁
        3.3.2 壽命片鈍化性能的研究與分析第40-41頁
        3.3.3 PERC太陽電池電性能的研究與分析第41-42頁
        3.3.4 Al_2O_3 膜厚對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第42頁
    3.4 SiNx膜厚對多晶硅PERC太陽電池性能的影響第42-45頁
        3.4.1 SiN_x工藝腔傳送舟帶速與SiN_x膜厚的關系第42-43頁
        3.4.2 壽命片鈍化性能的研究與分析第43頁
        3.4.3 PERC太陽電池電性能的研究與分析第43-44頁
        3.4.4 SiNx膜厚對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第44-45頁
    3.5 SiNx折射率對多晶硅PERC太陽電池性能的影響第45-47頁
        3.5.1 壽命片鈍化性能的研究與分析第45頁
        3.5.2 PERC太陽電池電性能的研究與分析第45-46頁
        3.5.3 SiN_x折射率對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第46-47頁
    3.6 本章小結第47-49頁
第四章 燒結工藝對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應影響研究第49-65頁
    4.1 引言第49頁
    4.2 樣品制備方法第49-50頁
    4.3 燒結爐帶速對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第50-52頁
        4.3.1 壽命片鈍化性能的研究與分析第50頁
        4.3.2 燒結爐帶速對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第50-51頁
        4.3.3 PERC太陽電池電性能的研究與分析第51-52頁
        4.3.4 燒結爐帶速對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第52頁
    4.4 燒結峰值溫度對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第52-56頁
        4.4.1 不同燒結峰值溫度工藝設置第52-53頁
        4.4.2 壽命片鈍化性能的研究與分析第53-54頁
        4.4.3 燒結峰值溫度對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第51-55頁
        4.4.4 PERC太陽電池電性能的研究與分析第55頁
        4.4.5 燒結峰值溫度對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第55-56頁
    4.5 燒結曲線對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第56-63頁
        4.5.1 不同燒結曲線設置第56-58頁
        4.5.2 壽命片鈍化性能的研究與分析第58頁
        4.5.3 燒結曲線對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第58-59頁
        4.5.4 PERC太陽電池電性能的研究與分析第59頁
        4.5.5 燒結曲線對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第59-63頁
    4.6 本章小結第63-65頁
第五章 注入退火對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應影響研究第65-77頁
    5.1 引言第65-66頁
    5.2 樣品制備方法第66頁
    5.3 光輻照退火時間對多晶硅PERC電池光致衰減效應的影響第66-69頁
        5.3.1 光輻照退火時間對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第66-68頁
        5.3.2 光輻照退火時間對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第68-69頁
    5.4 光輻照退火溫度對多晶硅PERC電池光致衰減效應的影響第69-72頁
        5.4.1 不同光輻照退火溫度工藝設置第69-70頁
        5.4.2 光輻照退火溫度對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第70頁
        5.4.3 光輻照退火溫度對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第70-72頁
    5.5 光輻照退火光照強度對多晶硅PERC電池光致衰減效應的影響第72-73頁
        5.5.1 光輻照退火光照強度對多晶硅壽命片光致衰減效應的影響第72頁
        5.5.2 光輻照退火光照強度對多晶硅PERC太陽電池光致衰減效應的影響第72-73頁
    5.6 多晶硅PERC太陽電池電注入退火的研究第73-75頁
    5.7 本章小結第75-77頁
第六章 結論與展望第77-80頁
    6.1 結論第77-78頁
    6.2 展望第78-80頁
參考文獻第80-87頁
致謝第87-88頁
在學期間的研究成果及發表的學術論文第88頁

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