矢量光場的調控及其在表面加工中的應用

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矢量光場的調控及其在表面加工中的應用
論文目錄
 
摘要第1-5頁
abstract第5頁
第一章 緒論第10-21頁
    1.1 矢量光場概述第10-13頁
    1.2 矢量光場的聚焦及應用第13-15頁
    1.3 矢量光場在激光加工中的應用第15-19頁
        1.3.1 激光表面加工的物理機制第15-16頁
        1.3.2 激光加工的應用現狀以及發展趨勢第16-17頁
        1.3.3 矢量激光在材料加工中的應用第17-19頁
    1.4 本論文的主要研究內容第19-21頁
第二章 矢量光場的產生與調控第21-31頁
    2.1 矢量光場的產生方法第21-24頁
        2.1.1 主動生成法第21-23頁
        2.1.2 被動生成法第23-24頁
    2.2 利用空間光調制器調控矢量光場第24-26頁
    2.3 利用薩格納克干涉儀調控矢量光場第26-28頁
    2.4 利用超表面調控矢量光場第28-30頁
    2.5 本章小結第30-31頁
第三章 較低數值孔徑下的超長三維平頂聚焦光場第31-40頁
    3.1 三維平頂聚焦光場產生理論第31-33頁
    3.2 三維平頂光場的構建第33-38頁
    3.3 本章小結第38-40頁
第四章 調控矢量激光場在表面處理中的應用第40-56頁
    4.1 矢量光場生成系統第40-42頁
        4.1.1 激光器第40-41頁
        4.1.2 矢量光場調控光路第41-42頁
    4.2 實驗材料第42-43頁
        4.2.1 鈦合金第42-43頁
        4.2.2 單晶硅第43頁
    4.3 實驗步驟第43-46頁
    4.4 實驗結果分析第46-54頁
        4.4.1 脈沖次數對激光打孔的影響第46-49頁
        4.4.2 脈沖能量對激光打孔的影響第49-51頁
        4.4.3 光束偏振態對激光打孔的影響第51-53頁
        4.4.4 拓撲荷對激光打孔的影響第53-54頁
    4.5 本章小結第51-56頁
第五章 總結與展望第56-58頁
    5.1 總結第56頁
    5.2 展望第56-58頁
參考文獻第58-64頁
致謝第64頁

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